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FE-SEM
전계방사형 주사전사 현미경
Field Emission-Scanning Electron Microscope
모델명S-4300
제작사HITACHI
Cold Type의 Gun Electron Source로부터 발생되는 Electron Beam
이 시료에 조사되면서 발생되는 다양한 전자를 이용하여 여러 분야
시료 표면의 세한 구조를 관찰할 수 있고 정량, 정성적으로 성분분석이
가능한 장비Sample Stage Auto 가능
 
분석 기능
- 금속, 재료, 반도체, 섬유 및 고분자 물질 등 광범위시료의 미세구조 관찰 및 성분 분석
- 미생물과 금속, 재료 등 미세입자(powder)의 표면 미세구조 및 형상관찰
- 동·식물 세포의 미세구조 관찰
- 반도체 등의 박막 두께 측적
사양
Resolution 15kV, working distance 5mm → 1.6mm
10kV, working distance 5mm → 5.0mm
Magnification × 20 ~ × 500,000
Acc, voltage 0.5 ~ 30 kV